Equipos de grabado por plasma (RIE/ICP) | Fari Plasma

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Equipos de grabado por plasma

Equipos de grabado por plasma

Fari Plasma fabrica equipos de grabado por plasma para etapas de grabado a nivel de oblea, ashing y eliminación de fotorresistencia. Solicite las especificaciones del equipo para su etapa de proceso.

Equipos destacados

Nuestras máquinas de grabado por plasma

Productos

Grabado

Sistemas de grabado RIE e ICP

Los reactores de grabado iónico reactivo (RIE) y de plasma de acoplamiento inductivo (ICP) cubren etapas de grabado de películas en front-end y de estructuración en back-end, con modelos como el Grabador RIE de doble cámara FR-G800.

  • Grabado RIE de doble cámara

    El grabador RIE de doble cámara FR-G800 cubre etapas de grabado de películas en front-end con dos cámaras en una sola huella.

  • Grabado ICP de doble cámara

    El grabador ICP de doble cámara FR-G800 se encarga de la estructuración en back-end con una segunda cámara para mayor rendimiento de obleas.

  • ICP de una cámara

    El Grabador por plasma de acoplamiento inductivo ICP cubre aplicaciones ICP de una cámara.

  • RIE de una cámara

    El Grabador RIE de una cámara se adapta a producciones de menor volumen o de I+D donde una cámara cubre la demya.

Etapas posteriores al grabado

Ashing por plasma y eliminación de fotorresistencia

El ashing y la eliminación de fotorresistencia se realizan directamente después del grabado, retirando el fotorresist que queda en la oblea. El Asher de plasma GD-20RF se encarga de la eliminación a base de oxígeno, mientras que el Sistema de eliminación de fotorresistencia por plasma RIE combina la eliminación y la limpieza en un solo ciclo.

  • Eliminación de fotorresistencia

    El ashing a base de oxígeno elimina la fotorresistencia después del grabado.

  • Eliminación y limpieza

    Un solo ciclo combina la eliminación de fotorresistencia y la limpieza.

  • Línea de grabado

    Se combina con grabadores RIE/ICP para una línea completa.

  • Etapa de proceso

    Se realiza directamente después del grabado para eliminar el fotorresist restante.

Especificaciones

Especificaciones principales del equipo

La gama comparte una arquitectura de control PLC + pantalla táctil, verificada en nuestra plataforma RD-200: frecuencia de referencia de RF de 40 kHz, potencia de plasma ajustable de 1 a 5 kW y 2 canales de gas con control de flujo másico (MFC), hasta una presión base de aproximadamente 75 mTorr (10 Pa).

  • Control PLC + pantalla táctil
  • 2 canales de gas con MFC
Más información
deposición

Sistemas PECVD y de deposición relacionados

Las fábricas que construyen una línea front-end completa más allá del grabado también necesitan herramientas de deposición.

El Sistema ICP CVD de doble cámara y Sistema de deposición por plasma ICP CVD utilizan la misma fuente de plasma de acoplamiento inductivo que nuestros reactores de grabado, pero para deposición en lugar de eliminación.

Los limpiadores por plasma superan este reto utilizando plasma de alta velocidad y alta energía para modificar química y físicamente la superficie. Este proceso optimiza la superficie del material, creando una capa activa esencial para operaciones posteriores como impresión, unión y recubrimiento.

Por qué adquirir equipos de plasma semiconductor de Fari

Fari es fabricante directo desde 2011, manteniendo la ingeniería, el ensamblaje y el control de calidad internamente. Cada unidad se verifica antes del envío, con la potencia de salida del plasma y el flujo de gas calibrados y registrados para su trazabilidad.

  • Fabricante directo

    La ingeniería, el ensamblaje y el control de calidad se realizan internamente en lugar de pasar por un intermediario comercial.

  • ISO 9001 y CE

    Certificación ISO 9001 desde 2021 y certificación CE en múltiples líneas de modelos de plasma.

  • Control de calidad por unidad

    Cada unidad se verifica para comprobar su correcto funcionamiento eléctrico y operativo antes del envío.

  • Ensamblaje controlado

    El ensamblaje en entornos controlados evita la contaminación de la cámara antes de la primera ejecución del proceso.

  • Entrega rápida

    La cotización rápida y el inventario disponible permiten una entrega más rápida en las configuraciones de catálogo.

OEM/ODM

Configuración personalizada y OEM/ODM

El tamaño de la cámara, la configuración de la fuente RF/ICP, los canales de gas y las interfaces de automatización se pueden configurar según el proyecto, desde la integración de transportadores hasta la manipulación robótica de obleas.

  • Tamaño de la cámara y configuración de la fuente RF/ICP
  • Canales de gas e interfaces de automatización
  • Integración de transportadores, plataformas XYZ, manipulación robótica de obleas

Solicite especificaciones del equipo o una cotización

El abastecimiento pasa por cuatro etapas: evaluación técnica, producción, envío en embalaje reforzado y soporte posventa. Contáctenos con su material objetivo y el tamaño de la cámara para comenzar.

Preguntas frecuentes

Preguntas frecuentes

¿Cuál es el plazo de entrega de un sistema de grabado RIE o ICP?
El plazo de entrega depende de la configuración de la cámara y de cualquier personalización OEM/ODM. La producción comienza después de que la etapa de evaluación técnica confirme las especificaciones de su proceso, y se emite una fecha de entrega firme junto con su cotización.
¿Qué garantía y soporte incluye el equipo?
Fari Plasma confirma los términos de garantía por pedido al cotizar. Determinadas configuraciones incluyen una garantía de 1 año con soporte técnico de por vida, y cada unidad se envía con parámetros de potencia, flujo de gas y plasma calibrados.
¿Se ofrece la prueba de aceptación en fábrica antes del envío?
Cada sistema se somete a una prueba de funcionamiento continuo y se verifica su seguridad eléctrica y su correcto funcionamiento antes de salir de fábrica. La FAT presencial o remota puede organizarse caso por caso durante la etapa de evaluación técnica.
¿De cuántos años es la garantía?
Los términos de garantía se confirman por pedido al cotizar. Determinadas configuraciones incluyen una garantía de 1 año con soporte técnico de por vida, y cada unidad se envía con trazabilidad por número de serie como referencia para el servicio.
¿Hay repuestos disponibles?
El soporte de repuestos se gestiona a través de la etapa posventa del proceso de pedido. Indique su modelo y número de serie al solicitar piezas para que los componentes correctos se ajusten a su sistema.
¿Qué materiales y tamaños de oblea se admiten?
Los tamaños de oblea y los materiales admitidos se ajustan a su proceso durante la personalización OEM/ODM en lugar de fijarse por modelo de catálogo, así que comparta las especificaciones de su proceso durante la evaluación.
Casos

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